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Etablissement Université de Batna 1 - Hadj Lakhder Affiliation Département de Physique Auteur Babahani, Oum El Kheir Directeur de thèse KHELFAOUI Fethi (Maitre de conférence) Filière Physique Diplôme Doctorat Titre Simulation numérique par la méthode de monte Carlo de la déposition de couche minces par procédés CVD Mots clés Propriétés statistiques, propriétés fuildes , déposition , couche mince , silicium simulation numérique , méthode de Monte Carlo Résumé On s'intéressera à l'étude de la déposition de la couches minces par procédés CVD et PECVD En plus du comportement fluide,On utilise la méthode de Mote Carlo comme technique de simulation, pour l'étude de l'interaction entre des ions du plasma Statut Vérifié

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