001025458
100  $a                         y50      
101  $afre
2001 $aSimulation numérique par la méthode de monte Carlo de la déposition de couche minces par procédés CVD$bressource électronique
210  $aUniversité de Batna 1 - Hadj Lakhder : Département de Physique$cUniversité de Batna 1 - Hadj Lakhder
328 1$bDoctorat$cPhysique$eDépartement de Physique , Université de Batna 1 - Hadj Lakhder
330  $aOn s'intéressera à l'étude de la déposition de la couches minces par procédés CVD et PECVD  En plus du comportement fluide,On utilise la méthode de Mote Carlo comme technique de simulation, pour l'étude de l'interaction entre des ions du plasma   
610  $aPropriétés statistiques, propriétés fuildes , déposition , couche mince , silicium simulation numérique , méthode de Monte Carlo 
700  $aBabahani, Oum El Kheir
701  $aArray
801 0$aDZ$bCERIST PNST
901$ac