001050070
100  $a                         y50      
101  $afre
2001 $aDépôt et caractérisation optique du silicium nanocristallin$bressource électronique
210  $aUniversité d'Oran1 - Ahmed Ben Bella : Département de Physique$cUniversité d'Oran1 - Ahmed Ben Bella
328 1$bMagister$cScience des matériaux$eDépartement de Physique , Université d'Oran1 - Ahmed Ben Bella
330  $aDes couches minces de silicium nanocristallin sont déposées par pulvérisation cathodique radio fréquence dans une atmosphère d'argon et d'hydrogène dans différentes conditions de pression, de dilution et de températures. Le matériau ainsi obtenu est caractérisé par différentes techniques, essentiellement optiques. Il s'agit d'élucider et de comprendre la corrélation pouvant exister entre ces conditions de dépôt et la structure du matériau
610  $aSilicium nanocristallin, transmission optique, ellipsométrie, spectroscopie infrarouge
700  $aADDA, habib
701  $aArray
801 0$aDZ$bCERIST PNST
901$ac