001024352
100  $a                         y50      
101  $afre
2001 $aModélisation de la cinétique électronique dans le gaz a / SiH4 appliquée aux  dépôts de couches minces par procédés plasma $bressource électronique
210  $aUniversité de Tizi Ouzou - Mouloud Mammeri : Département de Physique$cUniversité de Tizi Ouzou - Mouloud Mammeri
328 1$bMagister$cPhysique$eDépartement de Physique , Université de Tizi Ouzou - Mouloud Mammeri
700  $aZembri, Djamila 
801 0$aDZ$bCERIST PNST
901$ac