001024352
100 $a y50
101 $afre
2001 $aModélisation de la cinétique électronique dans le gaz a / SiH4 appliquée aux dépôts de couches minces par procédés plasma $bressource électronique
210 $aUniversité de Tizi Ouzou - Mouloud Mammeri : Département de Physique$cUniversité de Tizi Ouzou - Mouloud Mammeri
328 1$bMagister$cPhysique$eDépartement de Physique , Université de Tizi Ouzou - Mouloud Mammeri
700 $aZembri, Djamila
801 0$aDZ$bCERIST PNST
901$ac