001022354
100  $a                         y50      
101  $afre
2001 $aSimulation du dépôt du silicium polymorphe hydrogéné déposé par décharge luminescente radiofréquence : étude thermodynamique des défauts$bressource électronique
210  $aUniversité Mohamed Boudiaf des Sciences et de la Technologie - Mohamed Boudiaf d'Oran : Département de  Génie Physique$cUniversité Mohamed Boudiaf des Sciences et de la Technologie - Mohamed Boudiaf d'Oran
328 1$bMagister$cPhysique$eDépartement de  Génie Physique , Université Mohamed Boudiaf des Sciences et de la Technologie - Mohamed Boudiaf d'Oran
700  $aBOUHEKKA, ahmed
701  $aArray
801 0$aDZ$bCERIST PNST
901$ac