001019731
100  $a                         y50      
101  $afre
2001 $aEtude des dépôts de D.L.C. sur du Si préparés par MW ECR / PACVD.$bressource électronique
210  $aUniversité de Annaba - Badji Mokhtar  : Département Genie des materiaux$cUniversité de Annaba - Badji Mokhtar 
328 1$bDoctorat$cMétallurgie$eDépartement Genie des materiaux , Université de Annaba - Badji Mokhtar 
700  $aKHETTACHE, Abd el- Kader
701  $aArray
801 0$aDZ$bCERIST PNST
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