001016227
100 $a y50
101 $aara
2001 $aModélisation numérique des propriétés électriques et diagnostic par sonde électrostatique de langmuir dans un pulvérisation cathodique magnétron.$bressource électronique
210 $aUniversité de Ouargla - Kasdi Merbah : Département de Physique$cUniversité de Ouargla - Kasdi Merbah
328 1$bDoctorat$cPhysique$eDépartement de Physique , Université de Ouargla - Kasdi Merbah
330 $aLe diagnostic dans les pulvérisation peut être réalisé par la mesure par sonde électrostatique.la sonde électrostatique doit permettre, selon la théorie classique de langmuir et dans certains gaz ionisés une mesure simple de la température , de la densité et de la distribution électronique.
610 $aPlasma , Pluvérisateur cathodique magnétron, Sonde de langmuir.
700 $aBALLAH, zakia
701 $aArray
801 0$aDZ$bCERIST PNST
901$ac