| Etablissement | Université de Sétif 1 - Ferhat Abbas | | Affiliation | Département de Physique | | Auteur | OSMANI, Linda | | Directeur de thèse | BENOUETTAS Nour-Eddine (Docteur) | | Filière | Physique | | Diplôme | Magister | | Titre | Effet de l'orientation du silicium sur la morphologie en surface des siliciures de cuivre après recuit thermique d'échantillons Cu/Au/Si | | Mots clés | Cuivre, or, siliciures de cuivre, suboxyde de silicium, silicium, RBS channeling, MEB, DRX, DSC. | | Résumé | L’intérêt croissant porté aux siliciures épitaxiés en micro-électronique a ouvert un nouveau d’investigation dans la technologie des dispositifs à semi-conducteur, des détecteurs et en optique électronique. Parmi les différentes techniques utilisées pour former des siliciures épitaxiés, on cite la méthode des bicouches qui consiste à interposer une couche M2 à travers laquelle les atome M1 diffusent avant de réagir avec le silicium pour former des siliciures M1xSiy après recuit thermique du système M1/M2/Si. La couche barrière M2 a pour rôle de retarder la formation et la croissance du siliciure épitaxié jusqu’à une température proche du point eutectique du métal M1.
Dans notre travail des bicouches Cu/Au seront déposées séquentiellement sur du silicium monocristallin d’orientation (100) et (111), d’une part décapé et d’autre part recouvert de la couche native de suboxyde, avant d’être recuit sous vide au-delà de 600°C. Les échantillons résultants seront ensuite analysés par la diffraction des rayons X afin d’identifier les nouveaux composés formés alors que la microscopie à balayage permettra de visualiser la morphologie épitaxiés des cristallites. La composition en surface est donnée par la microanalyse X (EDX) (interfacé au microscope) dont l’énergie du faisceau primaire sera choisie égale à 9 keV dans l’intention d’analyser seulement les 2000? en surface.
De même les échantillons qui présentent une bonne épitaxie seront analysés par la rétrodiffusion de particules alpha en mode “channeling” (RBS). Enfin des coupes transversales seront effectuées (méthode destructive) sur tous ces échantillons afin d’être analysées par microscopie à transmission (MET). Ces résultat, si le temps est permis, seront suivis par une étude de la réaction par la calorimétrie différentielle (DSC) afin d’évaluer les première étapes de la croissance des cristallites.
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